Установка растяжения пленки DME-220
Главная /// Дисковая резка /// Установка растяжения пленки DME-220
Установка DME-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях.
Особенности
Работа с пластинами диаметром до 200 мм
Равномерная растяжка пленочного носителя во всех направлениях
Нагрев рабочего стола
Простота использования и технического обслуживания
Преимущества использования
Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после резки
Упрощение процесса снятия кристаллов с пленочного носителя
Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при съеме с пленочного носителя, ввиду того, что соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом
Описание процесса
Растяжение пленки на установке DME-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах.
Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода.
