Установка проявления фоторезиста LCS-D

Главная /// Фотолитография /// Установка проявления фоторезиста LCS-D

Установка предназначена для проявления фоторезиста, нанесенного на пластины/подложки посредством налива проявляющей жидкости различными типами струй с их последующей промывкой.

Особенности

Обработка пластин до диаметром до 200 мм и подложек до 177х177 мм
Удобное сенсорное управление
До 4-х независимых линий для проявителей с автоматической промывкой и сушкой
Проявление различными типами струй, в том числе распылением
Сопло с электроприводом для равномерного проявления

Высокая повторяемость процесса

Процесс проявления происходит в автоматическом режиме и легко программируется с помощью сенсорного дисплея. Программное обеспечение позволяет задавать оператору даже самые сложные рецепты обработки, которые могут включать в себя следующие стадии:

Проявление
Сушка азотом
Промывка деионизованной водой
Промывка линии проявителя
Сушка линии проявителя

Изготовлена из химический стойких материалов

Все элементы установки, контактирующие с проявителями, выполнены из современных материалов, обладающих высокой химической стойкостью: корпус установки и центрифуга – нержавеющая сталь, дозирующее сопло – пластик PEEK, линии проявителей – материалы PFA, PEEK, Kalrez.

Для мелкосерийных производств

Простота в использовании и обслуживании, быстрая переналадка на новый технологический процесс делают данную установку оптимальной для использования в условиях мелкосерийного производства, научно-исследовательских институтов и лабораторий.