Установка дисковой резки SATURN предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек из полупроводниковых и диэлектрических материалов.
Особенности
Прецизионный шпиндель на воздушных подшипниках с частотой до 60 000 об/мин
Бесконтактное измерение диаметра диска
Точность резки 2 мкм
Жесткая конструкция, обеспечивающая высокие точностные показатели
Дружественный интерфейс программного обеспечения
Надежная система управления
Система управления установки построена на базе компьютера промышленного исполнения с установленным программным обеспечением, которое обеспечивает работу установки в ручном и полуавтоматическом режимах. В ней использованы надежные комплектующие мировых производителей.
Высокая точность разделения пластин и подложек
В установке SATURN реализованы новые алгоритмы позиционирования шпинделя по осям Y и Z, которые позволяют добиться точности резки и глубины врезания до 2 мкм. Текущее положение шпинделя контролируется линейными энкодерами.
Бесконтактное измерение диаметра диска
Установка оснащена датчиком бесконтактного измерения диаметра диска, который позволяет компенсировать износ диска в процессе работы.
Обрабатываемые материалы
Кремний
Арсенид галлия
Поликор
Теллурида висмута
Ниобат лития
LTCC керамика
Оптические стекла
Кремний на сапфире
Ферриты
Кварц
Ситалл
Пьезокерамика
