Установка отмывки и сушки пластин SRD
Главная /// Химическая обработка /// Установка отмывки и сушки пластин SRD
Установка предназначена для сушки полупроводниковых пластин методом центрифугирования после проведения операции химической обработки или травления.
Особенности
Диаметр обрабатываемых пластин до 150 мм
Проектирование центрифуги под кассеты Заказчика
Кнопка быстрого запуска повторяющегося процесса
Датчики сжатого воздуха и азота на входе в установку
Блокировка запуска процесса с открытой крышкой
Групповая обработка
Обработка пластин происходит в кассетах. В ходе выполнения операции пластины сначала орошаются деионизованной водой, а после обдуваются потоком нагретого до температуры 75°С азота. Загрузка и выгрузка кассет с пластинами осуществляется вручную. Установка предназначена для работы в чистых помещениях класса 100.
Удобное управление на базе сенсорного дисплея
Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя 10 шагов с индивидуальными значениями скорости центрифуги, времени обработки и температуры сушки.
