Установка жидкостной химической обработки WB
Главная /// Химическая обработка /// Установка жидкостной химической обработки WB
Предназначена для проведения жидкостной химической обработки в процессах производства полупроводников, оптики, MEMS и других. Основные компоненты установок проектируются и изготавливаются на собственном производстве, позволяя адаптировать оборудование под конкретные задачи Заказчика.
Реализуемые процессы
- Очистка SC-1/SC-2 
- Травление Al, Cr, Au, Pt 
- Проявление и снятие резиста 
- Взрывная литография 
- Гальваническое или химическое осаждение металлов Cu, Au, Ni, Pd 
- Обработка в органических растворителях 
- И другие 
Разработана под Ваши задачи
Установки жидкостной химической обработки доступны в различных вариантах исполнения и могут быть адаптированы под требования конкретного технологического процесса. Каждый заказ тщательно прорабатывается нашими инженерами, определяется состав оборудования, проводится анализ используемых материалов на химическую совместимость.
Дополнительные компоненты
- Центрифуги для нанесения и проявления фоторезиста 
- Термоплитки для сушки и задубливания фоторезиста 
- Центрифуги для отмывки и сушки пластин 
- Модуль сушки пластин методом Марангони 
- Блоки подачи и фильтрации растворов 
Стандартное оснащение
- Цельный сварной корпус из полипропилена для работы с кислотами и щелочами 
- Рабочая зона из нержавеющей стали для работы с органическими растворителями 
- Система вытяжной вентиляции 
- Поддон для локализации аварийных утечек 
- Регулируемый по высоте защитный прозрачный экран 
- Фторопластовые пистолеты для подачи азота и деионизованной воды 
Состав ванн
- Корпус ванны из PTFE, PVDF, PP и других материалов 
- Системы поддержания температуры с прямым и косвенным нагревом 
- Установки фильтрации растворов 
- Программируемые источники тока 
- Датчики измерения электропроводности, pH, Rx и прочие 
- Ультразвуковые генераторы 
- И другое оборудование 
 
                         
             
           
           
           
           
           
          
          
        
      